低(di)真空機(ji)組工作(zuo)壓力高(gao)、排氣量(liang)大，多用(yong)于真空(kong)輸送、真(zhen)空浸漬(zi)、真空過(guo)濾、真空(kong)幹燥機(ji)真空脫(tuo)氣等。低(di)真空機(ji)組常用(yong)的主泵(beng)，容積式(shi)真空泵(beng)中的往(wang)複泵、水(shui)環泵、油(you)封機械(xie)泵、螺杆(gan)真空泵(beng)、濕式🏃‍♂️羅(luo)茨泵以(yi)及噴射(she)泵、分子(zi)篩吸附(fu)泵等這(zhe)些直排(pai)大氣型(xing)的真空(kong)泵都可(ke)以勝任(ren)，但根據(ju)被抽氣(qi)體的清(qing)潔程度(du)、濕度⚽及(ji)其他條(tiao)件，需配(pei)置除塵(chen)器、氣水(shui)油水分(fen)離器🔞、幹(gan)燥阱等(deng)設施。

适用(yong)于需要(yao)大抽速(su)和獲得(de)中真空(kong)的各種(zhong)真空系(xi)統中😄，如(ru)鍍🚶‍♀️膜機(ji)、真空冶(ye)煉、真空(kong)熱處理(li)及醫藥(yao)化工、電(dian)工焊接(jie)💛等行業(ye)。以往中(zhong)真空機(ji)組由羅(luo)茨真空(kong)泵+油封(feng)機❄️械泵(beng)、羅茨真(zhen)空+水環(huan)真空泵(beng)以及雙(shuang)羅茨真(zhen)空泵這(zhe)樣的組(zu)合居多(duo)。随着螺(luo)杆真空(kong)泵這樣(yang)的無🙇‍♀️油(you)真空泵(beng)的興起(qi)，羅茨真(zhen)空泵+螺(luo)杆真✂️空(kong)泵這樣(yang)的無油(you)真空機(ji)組也逐(zhu)漸增多(duo)，适應性(xing)更廣。

高真(zhen)空機組(zu)工作于(yu)分子流(liu)狀态下(xia)，工作壓(ya)力區間(jian)在10-2～10-6Pa，排量(liang)小、抽速(su)大，一般(ban)情況下(xia)主泵由(you)擴散泵(beng)、分子🈚泵(beng)、钛升華(hua)泵以及(ji)低🌈溫冷(leng)㊙️凝泵等(deng)來承擔(dan)，由于它(ta)們無法(fa)直接在(zai)大氣下(xia)工作，因(yin)此配置(zhi)前級泵(beng)、預抽泵(beng)等，情況(kuang)下爲防(fang)止氣壓(ya)波動還(hai)需要配(pei)置維持(chi)泵與儲(chu)氣罐等(deng)